ZS-Handling推出了获得专利的超声波轴承,该轴承可使基材均匀地漂浮在振动产生的气膜上,从而实现非接触式处理。
超声波发生器的超声波运动在超声波发生器表面和基体之间形成了支撑气体膜。取决于应用,基材以10至150μm的距离漂浮在所得的气膜上。在特殊情况下,也可以实现更高的悬停高度。
振动不会传递到基板中,也不会导致材料受损。