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PI推出真空兼容微型线性和旋转平台 满足更多用户需求

来源:广东智造 时间:2022-11-02 作者:dwp 浏览量:

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用于真空的新型紧凑型线性和旋转平台:RS-40 V7旋转平台和M-11x V6线性平台。

紧凑型空间的精密微型旋转台

RS-40 V7平台具有360度旋转范围和20N的负载能力,具有20°/秒的高角速度和最小的增量运动以及87 µrad的可重复性。直径为20mm的孔径允许旋转滤光镜和光学元件。紧凑的尺寸使RS-40旋转平台成为小型真空室的理想选择。新型RS-40工作台由特殊的真空额定步进电机提供动力,适用于高达10 -7 hPa的真空水平。

紧凑型线性位移台和XY / XYZ组合

新型110,M-111和M-112真空线性位移台系列提供5、15和25mm的行程范围,适用于高达10 -6 hPa的真空。线性平台还提供了一个清晰的孔径(Ø10 mm)。微型线性平台由带集成编码器的闭环直流齿轮电动机和带隙补偿的丝杠驱动,并提供亚微米分辨率,最小增量运动为0.05微米,位置重复性高达0.25微米。

RS-40 V7紧凑型旋转台,适用于真空

M-110•M-111•M-112 V6紧凑型线性平台,适用于真空

其他真空和特高压定位产品

PI为纳米定位和微定位应用提供了广泛的真空和UHV兼容线性平台和旋转平台,包括压电挠性平台,压电电机解决方案,甚至是多轴系统,例如6自由度六足并联定位器,可满足最苛刻的真空运动应用程序。服务的行业包括半导体,航空航天,光学和光子学,精密自动化,生命科学和大型科学研究。

PI的内部工程系统和组件使世界各地的客户在过去的5年中都能够提高他们的生产率和技术优势。凭借大量的标准精密运动产品和经过验证的方法论,PI可以快速修改现有设计或提供完全定制的OEM解决方案,以从指尖大小的纳米级整个运动范围满足您的应用的确切要求。通过大量不同的驱动器和导向系统,将定位器安装到行程范围较大的大型位移台上。

关于PI

PI是一家私有公司,在北美,欧洲和亚洲的位置设计和制造世界一流的精密运动和自动化系统,包括空气轴承,六脚架和压电驱动器。该公司成立于5年前,如今在全球拥有1300多名员工。PI的客户是光子学,生命科学,半导体和航空航天等领域的高科技行业和研究所的领导者。


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